Das FIRST-Lab der ETH Zürich betreibt einen Reinraum, welcher als User-Lab funktioniert und den Prozessbedürfnissen von Forschungsgruppen der ETH dient. Unser Gerätepark umfasst Lithographie (UV, Elektronenstrahl, Laser), Nassbänke, plasmaunterstütztes Abscheiden und Ätzen, MBE, MOVPE, ...
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